Cửa lò lắng đọng hơi chân không
Cửa tủ lắng đọng hơi chân không Cửa tủ CVD, Cửa tủ lắng đọng hơi hóa học, Cửa tủ chân không
Đặc điểm chính:
Sử dụng lò lắng đọng hơi nước: lò tích hợp lắng đọng hơi nước hóa học này có thể được sử dụng để lắng đọng hơi nước hóa học của vật liệu tổng hợp với khí drocarbon UND (như C3H8),vv) như là nguồn carbon, chẳng hạn như CVD, xử lý CVI của vật liệu tổng hợp C / C, vật liệu tổng hợp SiC, xử lý carbon hóa bề mặt của các bộ phận graphite và sản xuất graphene.
Mục đích của lò lắng đọng hơi:
Nồi tích hợp graphitization lắng đọng hơi hóa học này có thể được sử dụng để lắng đọng hơi hóa học của vật liệu tổng hợp với khí drocarbon UND (chẳng hạn như C3H8, vv) như nguồn carbon,như CVD, xử lý CVI của vật liệu tổng hợp C / C, vật liệu tổng hợp SiC, xử lý carbon hóa bề mặt của các bộ phận graphite và sản xuất graphene.
Đặc điểm của lò lắng đọng hơi:
Thiết kế nhiệt độ cao đa chức năng có thể đạt được lắng đọng hơi hóa học và xử lý graphitization cùng một lúc.
Nhiệt độ hoạt động cao tới 2600, và nó có thể hoạt động ổn định và đáng tin cậy trong một thời gian dài.
Hệ thống chuyển đổi tự động đo nhiệt độ kết hợp với nhiệt cặp và nhiệt kế hồng ngoại có thể thực hiện hiển thị và điều khiển toàn bộ phạm vi nhiệt độ.
Hệ thống điều khiển chuyển đổi tần số sưởi ấm cảm ứng sử dụng IGBT như thiết bị điện chính làm cho thiết bị tiết kiệm năng lượng và tiết kiệm điện,với các thành phần âm thanh nhỏ và không gây nhiễu với thiết bị bên ngoài.
Việc hiển thị và kiểm soát dòng chảy chính xác của khí vào và khí ra đảm bảo sự ổn định của sản phẩm.
Phòng lắng đọng cấu trúc đặc biệt được sử dụng, có hiệu ứng niêm phong tốt và khả năng chống ô nhiễm mạnh
Đường khí lắng đọng nhiều kênh được sử dụng, trường dòng chảy đồng đều, không có góc chết lắng đọng và hiệu ứng lắng đọng là tốt;
Hệ thống lọc đặc biệt có thể xử lý hiệu quả nhựa, bụi rắn, khí hữu cơ, vv được tạo ra trong quá trình lắng đọng carbon;
Các thông số kỹ thuật của lò lắng đọng hơi:
