| Loại | Lò lắng đọng hơi chân không |
|---|---|
| Bảo hành các thành phần cốt lõi | 1 năm |
| Thành phần cốt lõi | PLC, Máy bơm, Bình áp lực, PLC, Vòng bi, Hộp số, Động cơ, Bình áp lực, Bánh răng, Máy bơm |
| Nhiệt độ hoạt động | 1500C - 2600C (tùy chỉnh) |
| Độ đồng đều nhiệt độ (oC) | ±7,5 |
